前面我们已经介绍过了陶瓷
压力传感器,由于其抗腐蚀、抗磨损性能等优异性的特点被广发应用于过程控制、环境控制、液压和气动设备、伺服阀门和传动、化学制品和化学工业及医用仪表等众多领域。并且在,热喷涂耐高温陶瓷涂层能体现热喷涂技术特点,应用效果突出,是影响大的一个应用领域。
下面我们要分享的陶瓷厚膜压力传感器,是继扩散硅压力传感器之后
压力传感器的又一次重大的技术创新,而力敏Z-元件是目前国内外具有数字信号输出的敏感元件,因此陶瓷厚膜工艺与力敏Z-元件的简单电路的巧妙结合,可以出现一种性能优异、成本低廉的新型传感器。
陶瓷弹性体性能优良,平整、均匀、质密的材料在程度范围内都严格遵循虎克定律,无塑性变形;厚膜电阻(包括高温导线)能与陶瓷弹性膜片牢固地烧结在一起,不需用胶进行粘贴。这种刚性结构蠕变小,漂移小,静态性能稳定,动态性能好。;厚膜弹性体结构简单,易于制备。它与扩散硅压力传感器相比,不需半导体平面工艺来形成扩散电阻弹性膜片,大幅度减小了生产线的前期投入和工艺加工成本;陶瓷厚膜结构耐液体或气体介质的腐蚀,不需通过不锈钢膜片和硅油的转换与隔离,封装结构简化,进一步降低成本;工作量程宽。量程决定于膜片的有效半径与厚度之比,只要微压力不小于1Kpa,原则上较高的量程也易于实现;工作温度范围宽,可达-40℃~120℃。
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