高温压力传感器，顾名思义这是要用于高温环境下的压力检测。像我们能了解到的从航空航天、石油化工用的仪器到涡轮发动机、内燃机的监测和控制，越来越多的领域都要求工作温度在200℃以上的压力传感器。在接触电容式高温压力传感器之前，常见的高温压力传感器材料有多晶硅、石英、 SiC、SOI(Silicon on Insulator)、SOS(蓝宝石上硅) 等。基于SOI硅／硅键合工艺的接触电容式高温压力传感器的结构及测试装置，通过对传感器真空和大气环境下的高温测试来分析温度对传感器测试结果的影响，探讨产生温度效应的原因及给出克服温度效应的有效方法。

接触电容式高温压力传感器基于微机械原理，采用接触电容式结构，由硅隔离SOI片键合及浓硼扩散自停止腐蚀硅工艺制作而成，能实现高温压力的测量。传感器的测试电路采用电流镜电路结合补偿电路和补偿电源，接触电容式结构大大提高了传感器的线性工作范围，基本电流镜结合补偿电路减去寄生电容及提高传感器的灵敏度。当电容器的膜片(P+膜)受到均载压力P作用时发生形变，随着压力的增大与绝缘层的距离逐渐缩小，直到膜片与氧化硅或氮化硅隔离层接触。

以上就是接触电容式高温压力传感器的工作原理介绍。更多传感器相关资讯，请登录北京昆仑中大传感器技术有限公司官网，昆仑中大专门从事设计、生产、销售各种温度传感器、压力传感器、温湿度传感器、流量传感器等产品。服务优、管理严谨。欢迎广大合作伙伴加盟，与大家携手共进，共同创造更加辉煌美好的明天！