来源:昆仑中大传感器 发布日期:2017-12-05
机油压力传感器的简称是MEMS,它是一种微电子机械系统。它集成了微型的传感器、执行器以及信号的处理和控制电路、接口电路、通信和电源。且其体积非常的小。今天小编就给大家简单介绍一下它的工作原理。
它一般常用的就有硅压阻式和硅电容式两种,两者都是在硅片上生成的微机械电子的传感器。一般情况下,我们是通过机油压力传感器来进行检测汽车的机油向内的汽油还有多少,并将检测到的信号转换成我们可以理解的信号,提醒我们还有多少汽油,或者还可以走多远,甚至是提醒你汽车需要加汽油了。
MEMS硅压阻式传感器采用了周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁,采用MEMS技术,直接将四个高精密的半导体应变片刻制在其表面应力较大的地方,组成惠斯顿测量电桥,作为力电变换测量电路,将压力这个物理量直接变换成电量,其测量精度能达到0.01-0.03%FS。
利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状,上下两根横隔栅组成一组电容式的传感器。上横隔栅受压力作用向下位移,改变了上下两根横隔栅的间距,也就改变了板间电容量的大小,即△压力=△电容量。
传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形,由机械量弹性变形到电量转换输出,因此它不可能像MEMS传感器那样能够像集成电路那么微小,而且成本也远远高于了MEMS传感器。相对于传统的机械量传感器,MEMS传感器的尺寸更小,不超过一个厘米,相对于传统“机械”制造技术,其性价比大幅度提高。
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