MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪来测量这种形变，也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。这两种方法都很流行。

   汽车产业仍然是MEMS传感器的较大应用领域，占其销售额的72％，其次是医疗电子占12％，工业领域占10％，消费电子与军用航空占据其余的6％市场。

   在汽车领域，引擎的管理是其主要的应用，包括汽油发动机中的歧管空气传感器和柴油车中的共轨传感器，尤其是在欧洲。为了更好燃烧情况，有些组织也在研究可以在汽缸内工作的压力传感器，以更好地测量参与化学反应的各种物质的准确比例，并把数据反馈给引擎管理系统。

   由于工作环境恶劣，汽车传感器的价格比消费类传感器高得多。另外，汽车传感器需要较长的鉴定时间，而且这些传感器能可靠工作长达15年的时间。有些传感器，比如刹车或轮胎传感器，对于汽车使用很重要。

   在医疗市场，传感器主要充当外科手术使用的一次性低成本导管。但它们也用于昂贵的设备之中，在连续气道正压通气（CPAC）机中感测压力与差流。这些器件潜力巨大，可能在2015年以后成为可植入传感器。可植入传感器不需要电池就能工作，可以用于心脏测量和监测青光眼。

   在工业领域，MEMS压力传感器的主要应用包括采暖通风及空调（HVAC）、水平面测量、各种工业过程与控制应用。例如，除了精确的高度气压测量，飞机使用传感器监测引擎、襟翼等其它部件。

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