随着半导体制造、微型飞行器以及生物医学等行业的发展，传统的流量传感器不再适用于微流量的测量与控制需求。另一方面，随着各科学领域对MEMS技术的深入研究，积极MEMS技术的快速发展与应用。MEMS技术结合传感器技术，引起了传感器技术的又一次变革，使得传感器向着低功耗、小体积、智能化、高可靠性的方向发展。微流量传感器就是在此基础上研发而来。

在国外，M.Piotto等设计的热式微流量传感器测量微弱气流，气流从某一方向通过预留孔流入传感器， 再被分为两股，这两股气体流量大小与流量方向呈现正弦关系，通过双通道热式流量计敏感两个流量，减小尺寸，简化装配过程。传感器集成在单个芯片上，可同时测流量和方向。结果显示，传感器能测量0.4~0.9m/s 的流量。

除此外，还有Konstatinos Kontakis等提出的一种将微管道加工在PCB板上的热式微流量传感器；F.Hedrich等提出用于肺呼吸功能监测的微流量传感器等等。微流量传感器已经应用在各行业为我们的生活做出巨大的贡献。更多传感器文章，请登录北京昆仑中大传感器技术有限公司官网，昆仑中大专门从事设计、生产、销售各种温度传感器、压力传感器、温湿度传感器、流量传感器等产品。技术合格、设计严谨、设计方案科学、产品品质好、服务满意、管理好。欢迎广大合作伙伴加盟，与大家携手共进，共同创造更加辉煌美好的明