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扩散硅压力传感器_昆仑中大

来源:昆仑中大传感器 发布日期:2018-03-22

扩散硅压力传感器工作原理也是基于压阻效应,利用压阻效应原理,被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,利用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。

扩散硅压力传感器通过温度传感器把温度信号变为电信号,再由前置放大器把此电信号放大滤波,送往CPUA/D 转换模块进行模拟量到数字量的变换,由CPU进行数据处理并显示及PWM输出。原理:被侧介质---〉传感器---〉电子线路---〉输出信号

被测介质的压力直接作用于传感器的陶瓷/扩散硅膜片/上,使膜片产生与介质压力成正比的微小位移,正常工作状态下,膜片位移不大于0.025毫米,电子线路检测这一位移量后,即把这一位移量转换成对应于这一压力的标准工业测量信号。超压时膜片直接贴到坚固的陶瓷基体/扩散硅上,由于膜片与基体的间隙只有0.1毫米,因此过压时膜片的位移只能是0.1毫米,所以从结构上保证了膜片不会产生过大变形,该压力传感器具有很好的稳定性和高可靠性。

扩散硅压力传感器主要特点抗过载和抗冲击能力强,过压可达量程的数倍,甚至用硬物直接敲打测量元件也不致使其损坏,且对测量精度毫无影响;稳定性高,每年优于0.1%满量程,这个技术指标已达到智能 型压力仪表水平;温度漂移小,由于取消了压力测量元件中的中介液,因而传感器不仅获得了很高的 测量精度,且受温度梯度影响极小;适用性广、安装维护方便、可任意位置安装。

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