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压阻式压力传感器的工作原理以及结构分析_昆仑中大

来源:昆仑中大传感器 发布日期:2018-03-22

压阻式压力传感器在航空、生物医学、爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量;在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都有广泛应用。

电阻应变片是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象,俗称为电阻应变效应。

其核心部分是一块沿某晶向切割的N型的圆形硅膜片。在膜片上利用集成电路工艺方法扩散上四个阻值相等的P型电阻。用导线将其构成平衡电桥。膜片的四周用圆硅环(硅杯)固定,其下部是与被测系统相连的高压腔,上部一般可与大气相通。在被测压力P作用下,膜片产生应力和应变。设计时,要正确地选择电阻的径向位置,使,因而使。使四个电阻接入差动电桥,初始状态平衡,受力P后,差动电桥输出与P相对应。压阻式压力传感器由于弹性元件与变换元件,尺寸小,其固有频率很高,可以测频率范围很宽的脉动压力。压阻式压力传感器广泛用于流体压力、差压、液位等的测量。特别是它的体积小,可为0.8mm,在生物医学上可以测量血管内压、颅内压等参数。

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